半導体材料のエネルギービーム照射効果

イオンビーム・電子ビーム照射効果

　加速器や電子顕微鏡をもちいてエネルギービーム（イオン・電子）を物質に照射した場合の照射効果を調べている。エネルギービームが材料に与える照射損傷の研究に加えて、照射下という極端な非平衡状態での材料改質や新しいナノテクノロジー材料の創製を試みている。