－ 均質膜作製のコツ　－

　連続プロセスへの対応に優れているリニアソース(LS)方式であるが、均質膜作製の為には少しコツが必要である。まず、ミストガスをカーテン状にするノズルが、必要である。(ミストを均質にするには一工夫必要である。後述。)また、同時にステージを駆動させるモータにも気をつけなければならない。

これらの機材を揃えた上で、ミストガスを基板に当てるための条件探索を必要とする。温度、距離、流速等の因子を操作して最適な条件を決定する。以下に、温度、距離、流速の条件によって、どのような薄膜が出来るかを図示した。ミストガスの基板への当て方が適した条件でなければ、薄膜が全く出来ないか、基板が濡れてしまう等の不具合が生じる。

－ PEDOT in Universität Stuttgart －

　実際に(Universität Stuttgartに導入した装置で)作製した薄膜を以下の図に示す。低温及びノズル距離が近すぎたため、最初は薄膜の作製を確認出来なかったが、最適な温度にしたところ均質膜が作製した。本実験でのデポレートは、2000 nm/min (80 nm/min on 50 mm² sub. with 2 mm width nozzle at 10 mm/s)である。